SMEE サプライチェーン追跡

製造装置🇨🇳 中国チョークポイント

上海微電子装備(SMEE)は中国の国有リソグラフィ装置の旗手であり、ASMLに最も近い国産の対応企業だが、プロセス能力では世代遅れである。2022年12月に米国のEntity Listに掲載されて以降、SMEEはバックエンドのパッケージング向けリソグラフィ事業をAMIESに、フロントエンドのDUV開発をHuawei関連のShanghai Yuliangshengにそれぞれ分社化しており、後者は現在、中国初の国産28nmクラス液浸DUVスキャナをSMICでテストしている。

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SMEE

中国の国有リソグラフィ企業でASMLに対抗しうる唯一の国内勢。600シリーズDUVスキャナは90nmで量産中。HuaweiのSiCarrier構想と関連するスピンオフ企業「上海裕量晟(Yuliangsheng)」が、SMICで中国初の国産28nmクラス液浸DUVスキャナを試験中

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QSMEEの半導体サプライチェーン上の役割は?

中国の国有リソグラフィ企業でASMLに対抗しうる唯一の国内勢。600シリーズDUVスキャナは90nmで量産中。HuaweiのSiCarrier構想と関連するスピンオフ企業「上海裕量晟(Yuliangsheng)」が、SMICで中国初の国産28nmクラス液浸DUVスキャナを試験中

国産最先端リソグラフィは90nm量産が上限。28nm液浸DUVの量産は2027年頃を目標。10nm以下は2030年以前には見込めない

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