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高纯氖气是氟化氩(ArF)准分子激光器中的关键气体,这些激光器产生DUV光刻机在14nm至5nm节点芯片生产中使用的193nm深紫外光。乌克兰历史上提供了全球约70%的半导体级氖气;2022年入侵事件引发了紧急供应链应对,加速了向美国和欧洲生产商的多元化。
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