Neon Gas (High-Purity)

네온은 산소와 질소 추출을 위해 대량의 공기를 처리하는 대형 제철소의 산업용 공기 분리 공정에서 소량 부산물로 회수되는 불활성 희가스입니다. 반도체 등급 네온은 ArF 엑시머 리소그래피 시스템의 레이저 가스 혼합물에 혼입되기 전에 99.999% 이상의 순도에 도달해야 합니다. DUV(심자외선) 리소그래피에서 ArF 엑시머 레이저는 193nm 광을 방출하며, 14nm~7nm 노드(다중 패터닝 시 5nm)의 웨이퍼 포토레지스트를 노광하는 데 사용됩니다. 레이저 가스 혼합물은 주로 네온(약 95~97%)이며 소량의 아르곤과 불소를 함유합니다. 각 레이저 캐비티는 가동 중 이 가스 혼합물을 지속적으로 소비하고 보충합니다. 대량 생산 반도체 팹은 연간 수백 킬로그램의 고순도 네온을 소비할 수 있습니다. 2022년 이전, 우크라이나 두 회사 — Ingas(마리우폴)와 Cryoin Engineering(오데사) — 가 합산하여 세계 반도체 등급 네온의 약 45~70%를 공급했으며, 우크라이나 대형 철강 산업의 네온 풍부 배기가스를 활용했습니다. 2022년 2월 러시아의 우크라이나 전면 침공으로 마리우폴 시설이 즉시 폐쇄되고 오데사 공장도 위험에 처하여 공급 충격이 발생했으며, 몇 주 만에 네온 현물 가격이 500% 이상 급등했습니다. 이 위기는 미국(Air Products, Linde, Messer), 독일 등에서 대체 네온 정제 능력에 대한 빠른 투자를 촉진했습니다. 2023년 말까지 공급 다변화가 단일 국가 리스크를 크게 줄였지만, 대체 공급업체 재인증을 아직 완료하지 못한 팹들에게는 우크라이나산 네온이 여전히 시장의 상당 부분을 차지합니다. ASML의 DUV 시스템 — 전 세계 5nm~28nm 사이에서 생산되는 대부분의 칩이 의존하는 — 이 반도체 등급 네온의 주요 수요 동력으로 남아 있습니다.