JSR Corporation

JSR 주식회사는 1957년 일본합성고무주식회사로 창업하여 1980년대에 반도체 소재 분야로 전환하였습니다. 현재 신에쓰화학 및 도쿄오카공업(TOK)과 함께 세계 3대 포토레지스트 제조업체 중 하나로, 첨단 포토레지스트 시장의 약 20%를 차지합니다. 그 소재는 TSMC, Samsung Foundry, Intel Foundry에서 7nm, 5nm, 3nm, 2nm급 노드의 회로 패터닝에 사용됩니다. 포토레지스트는 각 리소그래피 노광 전에 실리콘 웨이퍼에 스핀 코팅되는 광감응성 폴리머 코팅입니다. 7nm 이하 칩에 필요한 EUV 리소그래피의 경우 포토레지스트 화학은 극도로 복잡합니다. 폴리머는 13.5nm 극자외선에 반응하고 2nm 이하의 선 에지 거칠기를 달성하며 후속 플라즈마 식각 공정에서도 열화 없이 견뎌야 합니다. JSR의 EUV 포토레지스트 배합은 ASML 및 TSMC와의 긴밀한 협력을 통해 수십 년에 걸쳐 개발된 독점 화학 기술을 대표합니다. 2023년 7월, 일본 경제산업성(METI)은 정부 지원 펀드인 산업혁신투자기구(JIC)를 통해 JSR의 비상장화를 주도하였습니다. 거래 가치는 약 9,000억 엔(약 60억 달러)으로 평가되었습니다. METI의 공식 이유는 일본 반도체 소재 산업 통합과 외국 인수로부터 전략적 지식재산 보호였으나, 이는 첨단 포토레지스트가 단순한 상업 제품이 아닌 지정학적 레버임을 암묵적으로 인정한 것입니다. JSR의 국유화는 특이한 구도를 만들어 냈습니다. TSMC, Samsung, Intel의 핵심 공급업체가 이제 사실상 일본 정부 통제 하의 실체가 된 것입니다. 그 수출 결정, 라이선스 조건, 기술 로드맵은 이제 일본 정부의 산업 정책에 영향을 받을 수 있습니다. 이는 중국의 희토류 및 갈륨 수출 통제와 유사한 방식으로, 도쿄에 전 세계 반도체 생산에 대한 잠재적 영향력을 부여합니다.