AMEC

中微公司（Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc., China; 上海証券取引所：688012）は2004年、化学者の尹志堯（ジェラルド・イン）によって上海で設立された。同氏は米国に渡りApplied Materials、Lam Researchの前身企業、Intelで約20年間過ごした後に帰国した人物である。尹の経歴は中国の国内半導体装置産業全体で繰り返し見られるパターンを象徴している——北京が今まさに置き換えようとしている米国製装置メーカーの内部で訓練を受けたエンジニアの波が、独自に再構築するには数十年を要したはずのプロセス知識を携えて帰国するという構図だ。AMECは2019年、同取引所の第一陣となるハイテクIPO群の一員として上海科創板に上場し、エッチング装置R&Dの積極的な拡大に資金を投じた。 AMECの中核的な強みは、NAURAのような広範な製品ラインを持つ競合他社とは異なり、狭く深い：プラズマエッチングである。同社は容量結合プラズマ（CCP）エッチング装置、誘導結合プラズマ（ICP）エッチング装置、そして中国のメモリメーカーが3D NANDとDRAMのスケーリングを進める中でますます重要性を増している高アスペクト比エッチングシステム——現代の3Dメモリアーキテクチャを特徴づける深く狭いチャネルを切削するために使用される——を生産している。AMECの誘電体エッチング装置Primo AD-RIEは現在第2世代となっており、SMICで32nm以下向けに導入されている一方、同社のICPエッチング装置はNAURAのものと並んでSMICの14nmノードで認定されている。SMICだけでもAMECのエッチング装置を各ファブで800台以上購入しており、AMECはファウンドリにとって最も深く組み込まれた国内装置パートナーの一つとなっている。 AMECを他のすべての中国製装置メーカーと一線を画すのは、その技術の流れが地政学的な境界線を越えて双方向に生じている点だ。AMECのCCPエッチング装置は台湾のTSMCの7nmおよび5nmラインでの量産向けに認定されている——これは注目すべき事実である。なぜなら、これは中国本土の装置メーカーの装置が、世界で最も先端的かつ地政学的に最も繊細なファウンドリであり、業界で最も厳格な規制体制の対象となるファブの生産フローの中に組み込まれていることを意味するからだ。この認定は現在の輸出規制の波よりもかなり以前から存在しており、AMECのエッチング技術が政策上の選好ではなく純粋な技術的メリットで競争力があると評価されたことを反映しており、これはAMECの国内競合他社の誰も同じノードの深さでは主張できない特徴である。 AMECの財務は中国のファブ能力拡張の急増、特にメモリ分野の拡大から恩恵を受けている。2025年度、AMECは売上高約17.4億ドル（123.8億人民元）、前年比36.6%増を計上し、純利益は約3.1億ドル（21.1億人民元）、同30.6%増となった——同社はこの成長を、中国のメモリファブ拡張に紐づく高アスペクト比エッチング装置の販売によるところが大きいとしている。AMEC・NAURA・ACM Research Shanghaiは中国国内「ビッグスリー」装置メーカーを構成しているが、AMECの対象範囲はエッチング専業であるためNAURAより狭い。 AMECの規制上の経緯は米中チップ緊張の基準に照らしても異例なほど紛糾したものだった。2024年1月、米国防総省はAMECを、いわゆる「中国軍事企業」を指定するSection 1260Hリストに追加した。この指定は、AMECが2019年に中国工業情報化部から受賞した「製造業単項冠軍製品賞」を実質的な根拠としていた——AMECはこの賞が軍事的つながりのない純粋に商業的な製造表彰であると主張していた。AMECは連邦裁判所で国防総省を提訴し、指定の取り消しを求めた。回復不能な評判上・商業上の損害をもたらしたと主張し、2024年12月にペンタゴンはこの指定を撤回した。しかし同じ月、別のBIS規則によりAMECはValidated End-User（VEU）プログラムから除外され、AMEC自体が正式なEntity Listに掲載されなかったにもかかわらず、一部の米国原産装置に対する簡素化された輸入認可を失った。この複合的な影響により、AMECは中国製装置メーカーの中でも異例な立場に置かれている：そのエッチング技術がTSMCの先端ラインの中で稼働するほど信頼されている企業でありながら、依然としてワシントンの中国半導体自給自足減速キャンペーンの板挟みに置かれている企業である。