Rare Earths (CN)

稀土元素（REE）是17种具有独特磁性、发光性和电化学特性的金属的统称。在半导体制造设备供应链中，最关键的是钕（Nd）和镝（Dy），它们被合金化为钕铁硼（NdFeB）永磁体。这些磁铁驱动光刻机、刻蚀腔体、CVD反应器和量测工具中用于精确定位晶圆的直线和旋转执行器。一台EUV扫描仪包含数百个NdFeB磁铁组件；公差在亚纳米级别，因此磁铁纯度和均匀性直接影响良率。 尽管稀土在全球广泛分布——中国的矿山产量约占全球的60–70%——关键制约在于精炼环节。分离各类稀土氧化物需要中国数十年来实现工业化的溶剂萃取化学工艺。中国精炼稀土产量约占全球的85%，其余分散于美国（山口矿）、澳大利亚（莱纳斯）等少数生产商。用于磁铁的Nd-Dy合金锭生产更为集中，中国占全球可用供应量的90%以上。 2023年，中国对稀土采选和分离技术引入出口许可证要求，在精炼供应既有主导地位之上增加了一层管控。这被普遍解读为对美国及其盟友半导体制造设备限制措施的对等反制。对于ASML、TEL、应用材料、KLA及泛林研究等设备制造商而言，对中国稀土精炼的依赖是一项战略风险，已加速对替代供应链的投资，包括澳大利亚稀土分离设施和美国能源部资助的磁铁回收项目。