市场份额
刻蚀约35%
核心产品
介质刻蚀和ALD系统
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泛林集团(Lam Research)是刻蚀和原子层沉积(ALD)设备的领先供应商,控制着全球刻蚀市场约35%的份额。其系统用于3D NAND存储器制造和先进逻辑的高深宽比接触孔刻蚀等关键工序。泛林的设备是台积电先进逻辑工艺和每家主要存储器制造商NAND及DRAM生产不可或缺的部分。美国出口管制要求泛林在向中国客户出货最先进刻蚀设备前获得许可证,对其中国收入造成了重大影响。公司还在开发2nm以下全环绕栅极时代所需的新刻蚀技术。
关联企业
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关键路径 — 从原料硅到部署
最紧张的单一来源依赖关系(按顺序)。
影响Lam Research的出口管制
美国—荷兰—日本半导体制造设备出口管制三边协调(2023年1月)
经过广泛外交谈判,美国、荷兰和日本于2023年1月27日前后就协调各自半导体设备出口管制框架达成非正式多边协议。随后,荷兰对阿斯麦(ASML)实施了DUV许可证要求(2023年9月生效),日本则将管制范围扩展至23类先进晶圆厂设备(2023年7月生效)。三边协调封堵了限制中国获取先进制程芯片生产所需设备的最大漏洞——此前,任何一国的单边限制均可通过其他国家加以规避。
▲ 12家公司受影响
美国实体清单:中芯国际(SMIC)(2020年12月)
2020年12月18日,美国商务部以向中芯国际供应的设备和材料可能被转用于军事目的为由,将中国最大代工厂中芯国际列入实体清单。该列举使针对中芯国际的先进半导体制造工具出口须经「推定拒绝」的许可证审查(适用于可支持10nm及以下制程的物项)。成熟节点工具的现有许可证基本获得保留,使中芯国际得以维持14nm/28nm的生产,但其向10nm以下先进制程发展的路径被封堵。
▲ 9家公司受影响
美国实体清单:长江存储科技(YMTC)(2022年12月)
2022年12月15日,美国商务部将中国最大的3D NAND闪存制造商长江存储科技列入实体清单。此举源于对长江存储违反美国限制向华为供应NAND芯片的担忧,以及阻止其获取将232层Xtacking NAND扩大量产所需美国来源设备和技术的整体目标。苹果将长江存储纳入iPhone供应商的认证计划在列入后被叫停。
▲ 6家公司受影响
QLam Research的供应商有哪些?
Lam Research在AI芯片供应链中依赖2个上游供应商。
Rare Earths (CN) (精密设备磁铁用稀土精炼的主导供应国(Nd、Dy))、High-Purity Quartz (US) (熔融石英光学元件和石英工艺腔体用全球唯一超纯石英矿床)。
QLam Research的主要产品是什么?
领先的蚀刻与沉积设备供应商
主要产品 介质刻蚀和ALD系统