Rare Earths (CN)

稀土元素（REE）是17種具有獨特磁性、發光性和電化學特性的金屬的統稱。在半導體製造設備供應鏈中，最關鍵的是釹（Nd）和鏑（Dy），它們被合金化為釹鐵硼（NdFeB）永磁體。這些磁鐵驅動光刻機、蝕刻腔體、CVD反應器和量測工具中用於精確定位晶圓的直線和旋轉執行器。一台EUV掃描機包含數百個NdFeB磁鐵組件；公差在亞奈米級別，因此磁鐵純度和均勻性直接影響良率。 儘管稀土在全球廣泛分布——中國的礦山產量約占全球的60–70%——關鍵制約在於精煉環節。分離各類稀土氧化物需要中國數十年來實現工業化的溶劑萃取化學工藝。中國精煉稀土產量約占全球的85%，其餘分散於美國（山口礦）、澳大利亞（萊納斯）等少數生產商。用於磁鐵的Nd-Dy合金錠生產更為集中，中國占全球可用供應量的90%以上。 2023年，中國對稀土採選和分離技術引入出口許可證要求，在精煉供應既有主導地位之上增加了一層管控。這被普遍解讀為對美國及其盟友半導體製造設備限制措施的對等反制。對於ASML、TEL、應用材料、KLA及泛林研究等設備製造商而言，對中國稀土精煉的依賴是一項戰略風險，已加速對替代供應鏈的投資，包括澳大利亞稀土分離設施和美國能源部資助的磁鐵回收項目。