Entegris

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Entegris, Inc.（NASDAQ: ENTG）はマサチューセッツ州ビルリカに本社を置き、半導体ファブがチップ製造の全工程で大量消費するプロセス材料と汚染管理製品を提供する。装置（一度購入して長期使用）やウェハ（チップそのものになる）とは異なり、Entegrisの製品は継続的に補充される消耗品であり、同社はサプライチェーンにおける繰り返し収益のチョークポイントとなっている。 主要製品カテゴリーは3つ：①マテリアルズ・ソリューション：成膜工程間でウェハ表面を研磨するCMP（化学機械研磨）スラリーおよびパッド；②マイクロ汚染管理：粒子・イオン汚染を防ぐ超高純度フィルター・膜・ガス供給システム；③先端材料ハンドリング：汚染を持ち込まずにウェハとフォトマスクを運搬する専用ウェハキャリア・FOUP・レチクルコンテナ。 先端ノードにおける汚染管理の重要性は極めて高い。微小なほこり一粒やわずかなイオン不純物が、ダイ全体を破壊するか系統的な歩留まり損失を引き起こしうる。チップの形状が5nm以下に縮小するにつれて許容汚染バジェットも減少し、Entegrisのフィルタリング・純度システムの重要性はプロセス世代ごとに増している。 Entegrisは2022年にCMCマテリアルズを約65億ドルで買収し、CMPスラリー市場を統合するとともに誘電体・タングステンスラリー能力を加えた。この買収により半導体プロセス化学品のチョークポイントとしての地位が大幅に強化された。同社は米国・台湾・韓国・日本・ドイツに拠点を持ち、主要ファブクラスターに近接しながら米国本社による戦略的管理を維持している。