Tungsten (CN)

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鎢是一種緻密、堅硬的過渡金屬，熔點在所有元素中最高（3,422°C）。它主要從黑鎢礦和白鎢礦中開採，中國控制著全球約80%的採礦產量以及加工成仲鎢酸銨（APT）和鎢粉等中間產品的更高份額。 在半導體製造中，鎢的主要作用是CMOS邏輯電路中的接觸和通孔填充金屬。在先進節點，六氟化鎢（WF₆）作為化學氣相沉積（CVD）的前驅體氣體，用於填充連接矽基板電晶體與第一金屬互連層（M0或局部互連）的細小垂直接觸孔。鎢的高熔點、在接觸尺寸下的低電阻率以及與矽製程的兼容性，使其在該應用中幾乎不可替代。應用材料是鎢CVD製程工具的主要供應商；台積電、三星、英特爾等所有主要邏輯代工廠均使用應用材料的W-CVD系統。 鎢還廣泛用於半導體設備製造商精密機械部件所採用的硬面和工具，以及某些量測和檢測系統中的X射線屏蔽。 中國對鎢的控制通過作為更廣泛關鍵礦產管制策略一部分引入的出口許可證要求得到進一步強化。與鎵和鍺（2023年管制明確與半導體供應鏈掛鉤）不同，鎢的出口管制有更悠久的歷史，可追溯至中國對戰略礦產的一般性監管。日本、韓國和奧地利（通過Plansee集團）等非中國生產商正致力於擴大產能，但中國在APT加工方面的成本優勢依然顯著。