JSR Corporation

JSR株式會社於1957年以日本合成橡膠公司名義成立，1980年代轉型進入半導體材料領域。如今，它是與信越化學和東京應化工業（TOK）並列的全球前三大光阻製造商，佔據先進光阻市場約20%的份額。其材料被用於台積電、三星晶圓代工和英特爾晶圓代工，在7nm、5nm、3nm和2nm級節點進行電路圖案化。 光阻是在每次光刻曝光前旋塗到矽晶圓上的感光性聚合物塗層。對於7nm以下晶片所需的EUV微影技術，光阻化學極為複雜：聚合物必須響應13.5nm極紫外光，實現2nm以下的線邊緣粗糙度，並在後續電漿蝕刻過程中保持穩定。JSR的EUV光阻配方代表了數十年與ASML和台積電密切合作開發的專有化學技術。 2023年7月，日本經濟產業省（METI）通過政府支持的產業革新投資機構（JIC）主導了JSR的私有化，交易估值約9000億日元（約60億美元）。經產省的公開理由是整合日本半導體材料產業、保護戰略知識產權免受外資收購——這隱含地承認先進光阻是地緣政治籌碼，而非單純的商業產品。 JSR的國有化造就了一種不尋常的格局：台積電、三星和英特爾的關鍵供應商現在實際上成為日本政府控制的實體。其出口決策、授權條款和技術路線圖現在可受日本政府產業政策影響，以類似中國稀土和鎵出口管制的方式，賦予東京對全球半導體生產的潛在影響力。