Kokusai Electric

國際電氣株式會社（東證: 6525）2018年從日立國際電氣拆分獨立，2019年被KKR收購，2023年在東京證券交易所重新上市——這一軌跡既反映了其技術的戰略價值，也體現了日本半導體設備行業的整合趨勢。 公司專注於批量熱處理設備：立式擴散爐、批量ALD（原子層沉積）系統和批量CVD（化學氣相沉積）爐。與單片工具（每次在反應腔中處理一片晶圓）不同，批量爐在立式石英管中同時處理25–100片晶圓，以極低的每片成本實現極其均勻的薄膜沉積。 批量爐工具對於沉積構成NAND快閃記憶體單元結構和DRAM電容介電質的薄氧化物、氮化物和高介電常數薄膜至關重要。隨著NAND層數從64層增加到176層、232層及更高，每片晶圓的ALD/CVD步驟數也相應增加，提升了公司每個器件世代的收入。隨著行業向DDR5和HBM遷移，DRAM領域也呈現同樣的動態。 國際電氣的客戶群涵蓋SK海力士、三星記憶體、美光、長江存儲和長鑫存儲。由於向中國記憶體晶片工廠供貨，2023年美國商務部在考慮向長江存儲供應批量爐工具是否需要實體清單許可證時，公司受到出口管制審查。公司謹慎應對這些限制，維持部分傳統供貨的同時限制下一代工具的供應。 公司在爐類設備領域主要與東京電子和應用材料競爭，但在立式批量ALD方面佔據特別強的地位——這一細分市場因與各客戶製程配方的深度整合而具有高轉換成本。