JSR Corporation

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JSR株式会社于1957年以日本合成橡胶公司名义成立，1980年代转型进入半导体材料领域。如今，它是与信越化学和东京应化工业（TOK）并列的全球前三大光刻胶制造商，占据先进光刻胶市场约20%的份额。其材料被用于台积电、三星晶圆代工和英特尔晶圆代工，在7nm、5nm、3nm和2nm级节点进行电路图案化。 光刻胶是在每次光刻曝光前旋涂到硅晶圆上的感光性聚合物涂层。对于7nm以下芯片所需的EUV光刻技术，光刻胶化学极为复杂：聚合物必须响应13.5nm极紫外光，实现2nm以下的线边缘粗糙度，并在后续等离子体刻蚀过程中保持稳定。JSR的EUV光刻胶配方代表了数十年与ASML和台积电密切合作开发的专有化学技术。 2023年7月，日本经济产业省（METI）通过政府支持的产业革新投资机构（JIC）主导了JSR的私有化，交易估值约9000亿日元（约60亿美元）。经产省的公开理由是整合日本半导体材料产业、保护战略知识产权免受外资收购——这隐含地承认先进光刻胶是地缘政治筹码，而非单纯的商业产品。 JSR的国有化造就了一种不寻常的格局：台积电、三星和英特尔的关键供应商现在实际上成为日本政府控制的实体。其出口决策、授权条款和技术路线图现在可受日本政府产业政策影响，以类似中国稀土和镓出口管制的方式，赋予东京对全球半导体生产的潜在影响力。